A félvezető- vagy folyadékkristályos kijelzőgyártás területén az utóbbi években megnőtt az eszközintegráció. Egy nagyon nagy méretű integrált áramkörnek nevezett eszköz gyártásakor 1 mikronos vagy annál kisebb finom mintázatra van szükség. Egy ilyen gyártási folyamat során finom por vagy nagyon kis mennyiségű gázszennyeződés rakódik le vagy adszorbeálódik a huzalozási mintára, ami az áramkör meghibásodásához vezet. Ezért szükséges, hogy ezekben a gázokban mind a reakciógáz, mind a nagy tisztaságú hordozógáz, azaz csak néhány részecske és gázszennyeződés létezzen. Emiatt szükséges, hogy egy rozsdamentes acél kapilláris cső vagy egy tag nagy tisztaságú gázt használjon, és belső felületét szennyezőanyagként használják fel szennyező anyagok kibocsátására, csak minimális mennyiségű részecskével és gázzal. Az inert gázok, például a nitrogén és az argon mellett sok speciális gáznak nevezett gázt is használnak félvezetők gyártásához. A speciális gázokra példák a korrozív gázok, például a klór, a hidrogén -klorid és a hidrogén -bromid, valamint a kémiailag instabil gázok, például a szilázs. Az előbbi gázkorrózióállóságot, míg az utóbbi nem katalitikus teljesítményt igényel.
Eddig a por vagy víz lerakódásának vagy adszorpciójának csökkentése érdekében a félvezetőgáz előállításához használt alkatrész belső felületét addig simították, amíg Rmax felületi érdessége 1 mikron vagy kevesebb nem volt. Hideg húzás, mechanikus polírozás, vegyi polírozás, polírozás vagy ezek kombinációja használható módszerként a cső belső felületének vagy részeinek simítására. Azonban egy nagyon sima anyagot, amelynek értéke 1 mikron vagy kevesebb, elsősorban elektrolitikus polírozással nyerik. A cső vagy hasonló belső felületét simítják, majd nagy tisztaságú vízzel megtisztítják, és nagy tisztaságú gázzal szárítják, hogy a végterméket kapják.
A hegesztést általában hegesztéskor használják. Ennek oka, hogy a hegesztés biztosíthatja a csővezeték nagy szilárdságát és jó légzárását. A csővezetékek lefektetésekor védőgázként nagy tisztaságú inert gázt, általában argonot használnak, és belső felületét nagy tisztaságú gázzal érintkeztetik a csővezetéken keresztül, hogy elkerüljék a szennyezés egy részének és az oxidációnak a magas hőmérsékletre történő felhevítését. . Ezenkívül a csővezeték fektetésénél a csővezetéket nagy tisztaságú argonnal vagy nitrogénnel tisztítják, hogy eltávolítsák ezeket a részecskéket, és továbbra is a csőben maradnak. Ha a csővezeték hosszú és bonyolult, például egy csővezeték, akkor több naptól több hétig tart. A közelmúltban erősen megkövetelték a költségcsökkentést a félvezetőgyár építésében és az üzem korai üzemeltetésében. E követelmények teljesítése érdekében most le kell rövidíteni a tisztítási időt.
A fenti tulajdonságokon kívül a csőnek és a nagy tisztaságú gáztagoknak hegesztési képességgel, a mechanikus tömítésekhez szükséges kötési területtel és kopásállósággal kell rendelkezniük; amikor alkatrészeket, például kötéseket megmunkálnak, Mach gyengeségre van szükség. Másrészt ismert, hogy a félvezető csövek vagy hasonló gázok gyártásához szükséges speciális, korrózióállósággal és nem katalitikus tulajdonságokkal rendelkező gázok javíthatók a rozsdamentes acél felületének ilyen módon történő hevítésével. légkörben, az oxigén parciális nyomása szabályozott. Érdemes megjegyezni, hogy a csővezeték objektív anyaga ebben az irodalomban SUS 316L rozsdamentes acél.
A fent említett szükséges korrózióállóság és nem katalitikus teljesítmény nem csak a gázvezetékekre vonatkozik. Ugyanez a kereslet a rozsdamentes acélból is, amelyet különböző berendezésekben használnak a félvezetők gyártásához, amelyek közül az egyik finom ostyafeldolgozással rendelkezik. Az ausztenites rozsdamentes acélt, különösen a SUS 316L típust elsősorban csövek és egyéb berendezések anyagaként használják. Az 161145/1988 számú japán Kokai szabadalmi közzétételi irat egy nem szabványos, nagy tisztaságú ausztenites rozsdamentes acél acélcsöveket használ, amelyeket tiszta helyiségekben használnak. A nemfémes zárványok korlátozzák a mangán-, szilícium-, alumínium- és oxigéntartalom csökkenését, ezáltal csökkentve a részecskék képződését a csővezeték belső felületéről.
Ezenkívül Japán közzétette az 198463, 1989/szabadalmi közzétételi iratot, amely rozsdamentes acél elemet ismertet a félvezetők gyártására szolgáló berendezésekhez. Ezek a tagok oxidáló gáz a rozsdamentes acél elektrokémiai polírozása után. Bizonyos körülmények között 100-500 angström vastagságú oxidréteget képeznek rajta, és úgy melegítik fel, hogy a külső részen lévő Ni -atomok aránya